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为什么半导体无尘室都使用黄光灯?
日期:2024/5/7 | 浏览次数:197
近年来,随着人工智能等高科技的发展,全球对半导体芯片的需求猛增。美国一直试图对中国进行半导体技术封锁,而中国也一直在默默发展实力的道路上。中国电子半导体产品的生产离不开无尘室(洁净室),这其中半导体无尘室(洁净室)与其他无尘室不同的是,都会使用一种黄光灯。

首先,在半导体芯片制造的过程中,包括氧化、粒子注入、光刻、蚀刻、薄膜等工序,这其中,光刻是非常重要的一个步骤。光刻并不是真正的刻在晶圆上,而是一种微影制程。原理就是在晶圆上涂上光阻,然后罩上带有电路图的光罩,通过紫外光的照射,微缩复制蚀刻。在这个过程中,对光线的波长非常敏感,因为不同波长的光线会影响图案转移的准确性和分辨率。


无尘室,洁净室


其次,选择黄光灯,是因为黄光的波长对光阻剂的敏感性比较低,因此不会干扰光阻剂的曝光过程。此外,黄光也不会像其他颜色的光那样容易引起金属表面的反射或者眩光,这有助于维持半导体芯片制造的精确性和一致性。此外黄光对人眼刺激较小,人员长期在半导体无尘室内工作,可以减少眼部疲劳。


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