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半导体洁净车间建设及环境要求
日期:2024/9/6 | 浏览次数:279
半导体洁净车间(洁净室)的建设及其环境要求是多方面的,包括设计规划、洁净度等级、温湿度控制、噪声与静电控制等。以下将具体介绍这些要求:


设计规划

科学规划:建设前应对车间的使用功能、生产流程和设备布局进行全面规划,考虑人员流动、物料流动和能源流等因素。
合理分区:合理划分洁净室的功能区域,确保人员、物料和设备的流动不会造成交叉污染。


洁净度等级

洁净度标准:半导体洁净车间一般要求达到ISO 5级或更高级别。例如,100级(FS 209)洁净室中,每立方英寸空气中粒度等于或大于0.5μm的颗粒总数不超过100个。
空气净化系统:采用高效空气过滤器和乱流送风方式,确保空气中微粒和有害气体含量符合标准,定期进行设备和地面清洁,保持良好的环境卫生。


温湿度控制

温度稳定性:半导体生产过程中对温度的稳定性要求高,一般要求温度波动不超过2℃,以确保产品的稳定性和一致性。
湿度控制:相对湿度需控制在30至50%的范围内,误差在±1%以内。高湿度易滋生细菌且加速化学反应速度,低湿度则会导致静电荷积累和皮肤干燥等问题。


噪声与静电控制

噪声控制:洁净室内的噪声级应控制在不超过65dB(A),以避免对工作人员造成干扰和损害。
静电防护:采取有效的防静电措施,如使用防静电材料、设置防静电接地系统、提供防静电工作服和工具,以防止静电对半导体产品的不良影响。


半导体洁净车间


安全与环保

防火疏散:设计时应考虑防火和紧急疏散需求,配备消防设施并设置安全出口。
节能环保:采用LED照明、能源回收系统等节能环保技术,降低能耗和环境污染。


验收与维护

多阶段验收:建设完成后,需经过空态验收、静态验收和动态验收三个阶段的严格检查,确保车间能投入日常使用。
定期维护:定期对洁净车间进行维护和检测,确保其长期稳定运行。


综上所述,半导体洁净车间的建设不仅需要满足严格的洁净度和环境控制要求,还需要考虑安全、环保以及长期的维护。科学的规划和高效的管理同样重要,只有全面把控每一个细节,才能确保半导体产品的高质量生产。


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